Scanning Electron Microscopy (SEM)

Ini adalaha tulisan dari skripsi saya. Sudah lama sebenarnya saya ingin nge-post ini, tapi baru sekarang saya post. Tulisan ini berdasarkan banyak sumber

SEM merupakan salah satu metode karakterisasi yang digunakan untuk melihat topografi permukaan dari suatu material. Perbesaran dari SEM bisa mencapai 300.000 kali. Material yang dapat diuji dengan menggunakan SEM hanyalah material padat. Untuk material padat konduktif, tidak ada preparasi khusus yang dilakukan, hanya persiapan metalografi standar seperti dipolish dan dietsa. Sedangkan untuk material non konduktif, material tersebut harus dilapis dengan emas atau karbon supaya terbentuk lapisan tipis yang konduktif.

 Skema SEM (http://www.purdue.edu/rem/rs/sem.htm)

Prinsip utama dari SEM adalah menggunakan electron beam yang ditembakkan ke spesimen yang akan menyebabkan terjadinya interaksi antara elektron yang ditembakkan (elektron primer) dengan elektron yang ada pada spesimen. Electron gun yang dilengkapi dengan filamen tungsten (6-12 V DC) akan menghasilkan electron beam. Akibat adanya beda potensial (1-30 kV) maka elektron akan menumbuk spesimen. Lensa elektromagnetik berfungsi untuk memfokuskan electron beam tersebut agar tepat menuju spesimen. Ketika electron beam menumbuk spesimen maka akan terjadi interaksi elektron yang akan menghasilkan:

1. Secondary electron (SE)

Secondary electron merupakan elektron yang terpental keluar permukaan spesimen atau mendekati permukaan spesimen akibat tumbukan dari elektron primer. SE berfungsi untuk menghasilkan tampilan morfologi dan topografi dari permukaan spesimen.

2. Backscattered electron (BSE)

Backscettered electron merupakan elektron primer yang mengalami scattering menjauhi permukaan spesimen. BSE berfungsi untuk menampilkan kontras komposisi pada spesimen berdasarkan berat massa atom.

3. X-Ray Fluorescence (XRF)

X-Ray Fluorescence merupakan hasil emisi dari elektron kulit terluar pada atom spesimen yang mengisi kekosongan elektron pada kulit dengan energi yang lebih rendah. Kekosongan elektron tersebut terjadi akibat elektron primer yang menendang elektron pada kulit dengan energi terendah ke luar. XRF inilah yang menjadi dasar karakterisasi dengan EDS. Hal ini dikarenakan setiap atom menghasilkan panjang gelombang sinar X yang khas. Sehingga sinar X ini dapat digunakan untuk mengidentifikasi unsur apa saja yang terkandung pada spesimen.

4. Auger Electron (AE)

Auger Electron dihasilkan dengan mekanisme yang sama dengan XRF.

Dan ini contoh hasil SEM. Ini gambar sampel saya. Membran telur:

: